大多數測試標準關于高效過濾器泄漏率的接受標準是，可接受的泄漏限度最終由客戶和供應商共同確定。但是，對于使用HEPA過濾器或不同級別潔凈區(qū)的許多應用，大多數采用≤0.01％的掃描測試泄漏標準。盡管0.01％的泄漏率在歷史上已經使用過，并且其起源與早期的模擬光度計測試設備相關聯(lián)，但在沒有進行科學和基于風險的評估的情況下，將0.01％的泄漏率標準作為可接受標準將導致與泄漏測試有關的問題，并且如果在低風險區(qū)域發(fā)現(xiàn)超限或失敗情況，將可能會帶來巨大的運營成本。過濾器不是100％截留的，并且預計MPPS附近的粒子在過濾器局部或整體可以穿透。當使用較低級別的HEPA過濾器時，工廠進行的MPPS或MPPS附近粒子的可接受泄漏率標準可能等于或大于現(xiàn)場泄漏率測試的接受標準，測試接受標準會變得更具爭議和困難。在可能發(fā)生泄漏的地方尤其如此。因此，在購買過濾器時，考慮過濾器的等級以及安裝后如何進行測試非常重要，以避免不必要的現(xiàn)場測試失敗。

ISO 14644-3 [33]提供了有關如何實施泄漏替代標準的指南。 在基于風險的方法中，理想的接受標準是，該接受標準可以反映所使用過濾器的效率或所測試房間的潔凈度。 ISO 14644-3使用工廠過濾效率等級作為接受標準協(xié)商的基礎。光度計泄漏測試和基于粒子計數器的泄漏測試的泄漏接受標準應該相同，因為兩種方法背后的理論和方法是相同的。如果執(zhí)行得當，使用光度計和粒子計數器進行的泄漏測試將得到相同的泄漏率結果（Meek等，2011 [121]）。

如果檢測到的泄漏量超過上游濃度的0.01％，一般認為該泄漏率超過最大允許標準。但是，對于整體效率MPPS≥99.95％且小于99,995％的過濾器系統(tǒng)（如H13過濾器），接受標準為0.1％。

如果要測試 MPPS 整體效率低于 99.95% 的過濾系統(tǒng)，則根據客戶和供應商之間的協(xié)議，需要不一樣的接受標準。